目前半导体工厂、IC制造商都需要设备供应商提供满足SEMI GEM300标准的设备，至少需要满足SEMI标准E30、E37、E40、E87、E90和E94。这些标准可以让工厂对设备进行持续的监控和控制，从而实现工厂自动化生产。CIMLink提了方便、快捷的GEM300的实现方式，方便设备供应商实现与工厂的通信控制需要。

SEMI E37 High-speed SECS Message Services（HSMS）

HSMS标准定义了基于TCP/IP基础的以太网连接的通信标准。它可以提供比E4（SECS-I）更快速的通信方式。所有的300mm的fab厂都需要HSMS标准。

SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content（SECS-II）

SECS-II标准定了消息的结构，消息分类为Streams，以0~255的数字表示，简称为S*（*即为0~255的数字）。每个Stream又包含不同的Functions，也用0~255表示。因此一个消息可以用S*F*定义，如S1F1（Are you there）。F后的数字为奇数表示这个消息是主要消息，为偶数表示此消息是应答消息。应答消息都是主要消息的数字加一表示。因此S1F3的应答消息就应当为S1F4. SECS-II标准也定义了数据类型，包括ASCII、binary、Boolean、4和8字节的float，以及1,2,4,8字节的interger和Uint类型、List类型。

SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment（GEM）

GEM标准定义了一组通用的设备行为和通信能力的规范，可以允许半导体设备制造商灵活方便的支持生产自动化流程。定义了建立通信、采集数据、监控时间、alarm上报、recipe处理和其它特性。

SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services

E39标准定义了通用数据结构，提供了基本的读取对象的属性、写值以及查询对象的内容。

SEMI E40 Standard for Processing Management

E40也被成为Process Job标准，定义了设备的工艺材料的行为。一个Process Job指定了加工一组substrates时所需要的recipe。Process Job通常E94标准结合使用。

E87 Specificagtion for Carrier Management（CMS）

E87提供了指定的Carrier到达正确的设备进行工艺和缓存的能力。包括Reserve特定的load port，验证carier id，验证slot map。验证通过后，可以把carrier缓存到internal buffers中。

SEMI E90 Specification for Substrate Tracking

E90定义了标准的substrate的移动轨迹的跟踪，substrate对象管理以及substrate location的维护。

SEMI E94 Specification for Control Job Management

E94标准定义了让fab工厂协调工艺和材料分配的能力。一个control job定义了一组工件，可以包含多个Carrier。每个工件包括一个或多个Process Job。E94标准必须和E40标准协作来实现工艺管理。

实现

CIMLink以C#为主要开发语言实现，提供Remoting和WebService两类接口服务。CIMLink系统的结构图如下